萊寶干式螺桿真空泵吹掃氣維修
發(fā)布時間:2021-07-18 14:51:13 來源: 優(yōu)尼捷 點擊量: 1624
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萊寶干式螺桿泵吹掃氣體要求以及停機前后維護。
- SV40：排氣側密封吹掃閥
- 常開，不會影響極限真空與抽速，
- 要求：停泵15-30分鐘后再關閉SV40；
- SV41：汽鎮(zhèn)吹掃閥（轉子吹掃）
- 用來稀釋氣體，以防止凝結、干燥泵體、降低化學反應、稀釋氣體到燃點以下。
- 要求：對于有可凝性氣體(如水蒸汽)的應用，需開啟SV41，防止氣體泵內凝結；
- SV42：進氣側密封吹掃閥
- 要求：在制程氣體或固體有可能進入齒輪箱的情況下，必需開啟SV42，以保護泵。
- 氮氣吹掃壓力：
- 氣源：4-8 bar
- 減壓后：3.0 bar
- 低壓報警：< 2.4 bar
- 1）工作狀態(tài)，當極限真空滿足工藝要求的前提下，對泵最好的保護方式：保持SV40，SV41，SV42常開；若極限真空無法滿足需求，可在抽氣閥打開30秒后將SV42關閉，SV41/SV40保持打開；
- 2）泵在待機狀態(tài)下，保持SV40，SV41，SV42常開，清除泵內工藝物質和水汽；
- 3）制程結束停泵前，關閉抽氣閥，保持SV40、SV41與SV42打開下泵運行30分鐘再停泵，以清除泵內殘留的制程物質和水汽，以防止泵因為轉子生銹和卡死。
- 4）停泵后，向泵腔內充注氮氣封存。
- 1850年，LEYBOLD萊寶真空公司在德國科隆成立。自公司成立以來，萊寶一直走在世界真空技術發(fā)展的前端。目前，萊寶公司是世界上著名的真空設備供應商之一。LEYBOLD在世界上四個國家設有工廠，每家工廠各自生產不同系列的真空元部件。其中有位于：德國的科隆，公司總部所在地。幾乎生產所有系列的產品；美國的賓西法尼亞州，專門生產應用于半導體行業(yè)的干泵、低溫泵等；法國的瓦郎斯，專門生產SOGEVAC系列單級旋片泵；河南洛陽，江蘇，山東濟南等地具有壓縮機和干式螺桿真空泵維修車間,共有三個備品備件倉庫。Leybold萊寶為客戶供應干式真空泵,氮氣壓縮機,六氟化硫(sf6)壓縮機,氦氣壓縮機,高壓機,萊寶真空泵,萊寶檢漏儀,萊寶真空泵油等工業(yè)設備，同時提供萊寶真空泵維修、配件等業(yè)務。
